熱式質量流量計的應用概況
添加時間:2016-06-08 03:45:23 點擊次數:481
熱式質量流量計（以下簡稱TMF）目前絕大部分用于測量氣體，只有少量用于測量微小液體流量。今天質量流量計小編來跟大家介紹，熱式質量流量計的應用概況。
1.熱分布式TMF
熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散，石油化工微型反映裝置，鍍膜工藝，光導纖維制造，熱處理淬火爐等各種場所的氫，氧，氨，燃氣等氣體流量控制，以及固體制冷中固體氬蒸發等累積量和閥們制造中泄露量的測量等。在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監控取樣氣體量。
2.插入式TMF
冷卻效應的插入式TMF國外近10年在環境保護和流程工業中應用發展迅速，例如：水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制，煤粉燃燒過程粉/氣配比控制，污水處理發生的氣體流量測量，燃料電池工廠各種氣體流量測量等等。
3.液體微小流量TMF
液體微小流量TMF應用于化學，石油化工，食品等流程工業實驗性裝置，如液化氣流量測量，注入過程中控制流量；高壓泵流量控制的反饋量；藥液配比系統定流量配比控制。還有在色譜分析等一起上用作定量液取樣控制以及用于動物實驗麻醉液流量測量。目前還未見到液體微小流量TMF國內定型產品。
